[online]AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성
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작성일 23-02-14 04:31
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AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성에 관한 레포트 AES/SAM(Auger Electron Spectroscopy /Scanning Auger Microscopy)은 수 백 Angstrom 크기로 집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의 에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면 분석 장비이다.
(7) 장점(長點)과 단점
(3) AES分析(분석)의 종류
(4) 충전efficacy(charging effect)
2. Auger Spectra
1)기기적 인자
2. Energy Analyzer
2)정량 分析(분석)
1. Electron Gun
1)정성 分析(분석)
5. 수직분포 分析(분석)(Depth Profiling)
(6) 시료 준비
3. UHV chamber (10-10 torr)
AES , SAM , 정성분석 , 정량분석 , Auger Electron Spect
AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성
순서
(5) 주요 적용 범위
(1) 기본원리
AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성에 관한 보고서
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1. 충전efficacy의 제거방법은
3. Auger Point Analysis
2)Sample의 property(특성)에 따른 요인
레포트 > 공학,기술계열
AES/SAM(Auger Electron Spectroscopy /Scanning Auger Microscopy)은 수 백 Angstrom 크기로 집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의 에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 分析해내는 표면 分析 장비이다.
(2) AES/SAM의 구조
4. Auger Line Scan
AES(Auger Electron Spectroscopy)
설명
4. Ion gun
1. Auger Image Mapping
다.
